以现金结算的股份支付的会计处理主要包括以下几个步骤：

1. 授予日：企业应按照负债的公允价值计入相关成本或费用，同时确认负债。如果授予后立即可行权，企业应立即确认负债的公允价值。

2. 等待期内：在每个资产负债表日，企业应以对可行权情况的最佳估计为基础，调整负债的公允价值，并将当期取得的服务计入成本或费用。

3. 结算日：企业应支付负债，同时冲减相关负债科目，支付的款项高于负债公允价值的部分计入当期损益。

4. 如果在等待期内发放现金股利，对于预计未来可解锁的限制性股票持有者，现金股利作为利润分配处理；对于预计未来不可解锁的，现金股利计入成本费用。

5. 如果协议条款发生修改，导致股份支付性质改变，企业应按照新的股份支付类型进行会计处理，可能涉及终止确认原负债，同时确认权益工具。

6. 如果因未满足可行权条件而取消的现金结算股份支付，企业应终止确认负债，但不确认新的权益工具。

这些处理遵循企业会计准则第11号——股份支付（2006）的相关规定。